陽(yáng)極層離子源是一種不需要熱燈絲陰極進(jìn)行電荷補(bǔ)償?shù)目煽垦b置,可在不同壓力范圍和不同的氣體環(huán)境下產(chǎn)生離子束,可在化學(xué)活性氣體(氧氣、空氣、鹵素氣體)環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。通過(guò)閉合的磁阱、陰極和陽(yáng)極之間的高電壓以及正確的工作壓力,氣流通過(guò)磁阱從而產(chǎn)生等離子體射流。