矩形中頻磁控濺射靶

中頻磁控濺射有效的解決了濺射靶靶面中毒的問題。

輸入電壓：AC380V±10%三相四線

輸出空載電壓：900V

輸出電流：0-100%可調(diào)

輸出功率：0-12kw

滅弧時(shí)間：<20us

1、磁控濺射靶尺寸：可定制

2、陰極表面磁場(chǎng)強(qiáng)度≥400Gs

3、靶的密封性能    漏率5×10-7Pa.m3/s

5、靶的絕緣性能    絕緣電阻 優(yōu)于10M（1000V）

6、冷卻腔水壓試驗(yàn)  在0.4Mpa水壓無滲漏。

7、靶的工作條件    工作電壓300～600V 真空度～2×10-1Pa

另有旋轉(zhuǎn)磁控濺射靶、直流磁控濺射吧、射頻磁控濺射靶供您選擇。